超声波辅助加工设备是利用超声频作小振幅振动的工具，并通过它与工件之间游离于液体中的磨料对被加工表面的捶击作用，使工件材料表面逐步破碎的特种加工。
虽然超声波加工设备的功率和结构有所不同，但其基本组成相同。一般包括超声发生器、超声振动系统、机床和磨料悬浮液循环系统，其主要功能如下：
一、超声波发生器
超声波发生器的作用是将工频交流电转换为超声频振荡，以供给工具端面往复振动和去除工件材料的能量。当某种原因引起超声波振动系统共振频率的变化时，可通过“声反馈"或“电反馈"使超声波发生器的工作频率能自动跟踪变化，保证超声波振动系统始终处于良好的谐振状态。
二、超声振动系统
超声振动系统主要包括超声换能器、超声变幅杆和工具。其作用是将由超声波发生器输出的高频电信号转变为机械振动能，并通过变幅杆使工具端面作小振幅的高频振动，以进行超声波加工。
三、机床
超声波加工时，工具与工件间的作用力很小，加工机床只需实现工具的工作进给运动及调整工具与工件间相对位置的运动，因此，超声加工机床一般比较简单，包括支撑振动系统的机架及工作台面，使工具以一定压力作用在工件上的进给机构、床身等部分。
四、磨料悬浮液循环系统及换能器冷却系统
简单的超声波辅助加工设备，其磨料是靠人工输送和更换的，即在加工前将悬浮磨料的工作液浇注在加工区，加工过程中定时抬起工具和补充磨料。也可利用小型离心泵使磨料悬浮液搅拌后浇注到加工间隙中，对于较深的加工表面，应经常将工具定时抬起以利磨料的更换和补充。
